| 1. Identity statement | ||||
| Reference Type | Report | |||
| Site | mtc-m21c.sid.inpe.br | |||
| Holder Code | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||
| Identifier | 8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S | |||
| Repository | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40 | |||
| Last Update | 2020:08.01.21.40.37 (UTC) simone | |||
| Metadata Repository | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40.37 | |||
| Metadata Last Update | 2022:07.08.21.10.23 (UTC) administrator | |||
| Citation Key | SáBarr:2006:CaToPl | |||
| Title | Caracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros  | |||
| Year | 2006 | |||
| Access Date | 2024, Apr. 19 | |||
| Type | RPQ | |||
| Number of Pages | 24 | |||
| Number of Files | 1 | |||
| Size | 967 KiB | |||
| 2. Context | ||||
| Author | 1 Sá, Ubirajara Oliveira de 2 Barreto, Patrícia Regina Pereira | |||
| Group | 1 2 LAP-CTE-INPE-MCT-BR | |||
| Affiliation | 1 ETEP Faculdades 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||
| Author e-Mail Address | 1 ubirajaradesa@yahoo.com.br 2 patricia@plasma.inpe.br | |||
| Institution | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais | |||
| City | São José dos Campos | |||
| History (UTC) | 2020-08-01 21:40:37 :: simone -> administrator :: 2022-07-08 21:10:23 :: administrator -> simone :: 2006 | |||
| 3. Content and structure | ||||
| Is the master or a copy? | is the master | |||
| Content Stage | completed | |||
| Transferable | 1 | |||
| Keywords | plasma filmes | |||
| Abstract | Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o projeto de um novo canhão para a tocha de plasma utilizada na sintetização de filmes super duros. Para isto é necessário encontrar a região ótima de operação do sistema, através da caracterização do plasma, via sondas eletrostáticas, curvas de breakdown e características de descarga, para diferentes configurações de eletrodos. Numa primeira fase do trabalho, foi remontado o sistema de vácuo que estava desativado, com a inclusão de uma bomba roots e medidores de pressão deste a faixa de 2atm até 10-3mbar. O sistema de vácuo foi caracterizado através das curvas de pressão em função do tempo e apresentadas no relatório anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema elétrico da tocha de plasma foi modificado, com a alteração do filtro RLC. Com o sistema de vácuo funcionando e o novo circuito elétrico instalado, iniciou-se os disparos da tocha de plasma, considerando três configurações diferentes de catodos para um mesmo anodo. A aquisição de dados foi feita conectando o experimento a um osciloscópio Textronics TDS3014B e este ao microcomputador onde as informações ficam armazenadas para posteriormente serem analisadas. Foram coletados três canais no osciloscópio, um representa a queda de tensão entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de tensão em resistências padrão, que serem utilizados na determinação da corrente da descarga. Esses dados são importados diretamente em programas gráficos para a construção das curvas características. Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, foi determinado a média e o desvio padrão dos dados coletados para cada uma das configurações dos eletrodos. Também, foram determinadas as curvas de Breakdonw (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se que tensão mínima necessária para iniciar a descarga com o catodo de 1/4 de tungstênio é de 617,5 ± 18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungstênio esta tensão cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva característica da descarga (V × I - tensão versus corrente) nestes dois casos é na faixa de 50V × 20 70A. A tensão de ruptura para o catodo de 10mm de molibdênio é de 328,5 ± 81,1V e mesma condição de V × I. A partir destas curvas será possível escolher algumas condições para a determinação dos parâmetros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, iniciaram-se os estudos de equilíbrio termodinâmico da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a reação αN2 + βNF3 = Produtos, e as frações molares dos produtos foram determinadas utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de α e β e condições de pressão e temperaturas típicas do experimento. Depois utilizando-se de um código cinético, ChemKin, foi determinada a composição da fase gasosa e comparada com os dados de equilíbrio. | |||
| Area | FISPLASMA | |||
| Arrangement 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Caracterização de tochas... | |||
| Arrangement 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Acervo PIBIC/PIBITI > PIBIC/PIBITI 2006 > Caracterização de tochas... | |||
| doc Directory Content | access | |||
| source Directory Content | there are no files | |||
| agreement Directory Content |
| |||
| 4. Conditions of access and use | ||||
| data URL | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S | |||
| zipped data URL | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S | |||
| Language | pt | |||
| Target File | Ubirajara Oliveia de S.pdf | |||
| User Group | simone | |||
| Visibility | shown | |||
| Read Permission | allow from all | |||
| Update Permission | not transferred | |||
| 5. Allied materials | ||||
| Mirror Repository | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 | |||
| Next Higher Units | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS 8JMKD3MGPDW34P/478H96R | |||
| Citing Item List | sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.50.38 1 | |||
| Dissemination | BNDEPOSITOLEGAL | |||
| Host Collection | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 | |||
| 6. Notes | ||||
| Notes | Bolsa PIBIC/INPE/CNPq | |||
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| 7. Description control | ||||
| e-Mail (login) | simone | |||
| update | ||||