1. Identificação | |
Tipo de Referência | Relatório (Report) |
Site | mtc-m21c.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40 |
Última Atualização | 2020:08.01.21.40.37 (UTC) simone |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40.37 |
Última Atualização dos Metadados | 2022:07.08.21.10.23 (UTC) administrator |
Chave de Citação | SáBarr:2006:CaToPl |
Título | Caracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros |
Ano | 2006 |
Data de Acesso | 19 abr. 2024 |
Tipo | RPQ |
Número de Páginas | 24 |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 967 KiB |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Sá, Ubirajara Oliveira de 2 Barreto, Patrícia Regina Pereira |
Grupo | 1 2 LAP-CTE-INPE-MCT-BR |
Afiliação | 1 ETEP Faculdades 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 ubirajaradesa@yahoo.com.br 2 patricia@plasma.inpe.br |
Instituição | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais |
Cidade | São José dos Campos |
Histórico (UTC) | 2020-08-01 21:40:37 :: simone -> administrator :: 2022-07-08 21:10:23 :: administrator -> simone :: 2006 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Palavras-Chave | plasma filmes |
Resumo | Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o projeto de um novo canhão para a tocha de plasma utilizada na sintetização de filmes super duros. Para isto é necessário encontrar a região ótima de operação do sistema, através da caracterização do plasma, via sondas eletrostáticas, curvas de breakdown e características de descarga, para diferentes configurações de eletrodos. Numa primeira fase do trabalho, foi remontado o sistema de vácuo que estava desativado, com a inclusão de uma bomba roots e medidores de pressão deste a faixa de 2atm até 10-3mbar. O sistema de vácuo foi caracterizado através das curvas de pressão em função do tempo e apresentadas no relatório anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema elétrico da tocha de plasma foi modificado, com a alteração do filtro RLC. Com o sistema de vácuo funcionando e o novo circuito elétrico instalado, iniciou-se os disparos da tocha de plasma, considerando três configurações diferentes de catodos para um mesmo anodo. A aquisição de dados foi feita conectando o experimento a um osciloscópio Textronics TDS3014B e este ao microcomputador onde as informações ficam armazenadas para posteriormente serem analisadas. Foram coletados três canais no osciloscópio, um representa a queda de tensão entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de tensão em resistências padrão, que serem utilizados na determinação da corrente da descarga. Esses dados são importados diretamente em programas gráficos para a construção das curvas características. Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, foi determinado a média e o desvio padrão dos dados coletados para cada uma das configurações dos eletrodos. Também, foram determinadas as curvas de Breakdonw (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se que tensão mínima necessária para iniciar a descarga com o catodo de 1/4 de tungstênio é de 617,5 ± 18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungstênio esta tensão cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva característica da descarga (V × I - tensão versus corrente) nestes dois casos é na faixa de 50V × 20 70A. A tensão de ruptura para o catodo de 10mm de molibdênio é de 328,5 ± 81,1V e mesma condição de V × I. A partir destas curvas será possível escolher algumas condições para a determinação dos parâmetros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, iniciaram-se os estudos de equilíbrio termodinâmico da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a reação αN2 + βNF3 = Produtos, e as frações molares dos produtos foram determinadas utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de α e β e condições de pressão e temperaturas típicas do experimento. Depois utilizando-se de um código cinético, ChemKin, foi determinada a composição da fase gasosa e comparada com os dados de equilíbrio. |
Área | FISPLASMA |
Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Caracterização de tochas... |
Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Acervo PIBIC/PIBITI > PIBIC/PIBITI 2006 > Caracterização de tochas... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | |
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4. Condições de acesso e uso | |
URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S |
URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S |
Idioma | pt |
Arquivo Alvo | Ubirajara Oliveia de S.pdf |
Grupo de Usuários | simone |
Visibilidade | shown |
Permissão de Leitura | allow from all |
Permissão de Atualização | não transferida |
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5. Fontes relacionadas | |
Repositório Espelho | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS 8JMKD3MGPDW34P/478H96R |
Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.50.38 1 |
Divulgação | BNDEPOSITOLEGAL |
Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 |
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6. Notas | |
Notas | Bolsa PIBIC/INPE/CNPq |
Campos Vazios | archivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder copyright creatorhistory date descriptionlevel doi e-mailaddress edition format isbn issn label lineage mark nextedition orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup recipient reportnumber resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey secondarymark secondarytype session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype translator url versiontype |
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7. Controle da descrição | |
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