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1. Identificação
Tipo de ReferênciaRelatório (Report)
Sitemtc-m21c.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40
Última Atualização2020:08.01.21.40.37 (UTC) simone
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m21c/2020/08.01.21.40.37
Última Atualização dos Metadados2022:07.08.21.10.23 (UTC) administrator
Chave de CitaçãoSáBarr:2006:CaToPl
TítuloCaracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros
Ano2006
Data de Acesso19 abr. 2024
TipoRPQ
Número de Páginas24
Número de Arquivos1
Tamanho967 KiB
2. Contextualização
Autor1 Sá, Ubirajara Oliveira de
2 Barreto, Patrícia Regina Pereira
Grupo1
2 LAP-CTE-INPE-MCT-BR
Afiliação1 ETEP Faculdades
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1 ubirajaradesa@yahoo.com.br
2 patricia@plasma.inpe.br
InstituiçãoInstituto Nacional de Pesquisas Espaciais
CidadeSão José dos Campos
Histórico (UTC)2020-08-01 21:40:37 :: simone -> administrator ::
2022-07-08 21:10:23 :: administrator -> simone :: 2006
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Palavras-Chaveplasma
filmes
ResumoEste trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o projeto de um novo canhão para a tocha de plasma utilizada na sintetização de filmes super duros. Para isto é necessário encontrar a região ótima de operação do sistema, através da caracterização do plasma, via sondas eletrostáticas, curvas de breakdown e características de descarga, para diferentes configurações de eletrodos. Numa primeira fase do trabalho, foi remontado o sistema de vácuo que estava desativado, com a inclusão de uma bomba roots e medidores de pressão deste a faixa de 2atm até 10-3mbar. O sistema de vácuo foi caracterizado através das curvas de pressão em função do tempo e apresentadas no relatório anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema elétrico da tocha de plasma foi modificado, com a alteração do filtro RLC. Com o sistema de vácuo funcionando e o novo circuito elétrico instalado, iniciou-se os disparos da tocha de plasma, considerando três configurações diferentes de catodos para um mesmo anodo. A aquisição de dados foi feita conectando o experimento a um osciloscópio Textronics TDS3014B e este ao microcomputador onde as informações ficam armazenadas para posteriormente serem analisadas. Foram coletados três canais no osciloscópio, um representa a queda de tensão entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de tensão em resistências padrão, que serem utilizados na determinação da corrente da descarga. Esses dados são importados diretamente em programas gráficos para a construção das curvas características. Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, foi determinado a média e o desvio padrão dos dados coletados para cada uma das configurações dos eletrodos. Também, foram determinadas as curvas de Breakdonw (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se que tensão mínima necessária para iniciar a descarga com o catodo de 1/4 de tungstênio é de 617,5 ± 18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungstênio esta tensão cai para 345,4 ± 17,2 V, e a curva característica da descarga (V × I - tensão versus corrente) nestes dois casos é na faixa de 50V × 20 70A. A tensão de ruptura para o catodo de 10mm de molibdênio é de 328,5 ± 81,1V e mesma condição de V × I. A partir destas curvas será possível escolher algumas condições para a determinação dos parâmetros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, iniciaram-se os estudos de equilíbrio termodinâmico da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a reação αN2 + βNF3 = Produtos, e as frações molares dos produtos foram determinadas utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de α e β e condições de pressão e temperaturas típicas do experimento. Depois utilizando-se de um código cinético, ChemKin, foi determinada a composição da fase gasosa e comparada com os dados de equilíbrio.
ÁreaFISPLASMA
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4. Condições de acesso e uso
URL dos dadoshttp://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S
URL dos dados zipadoshttp://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34R/42UPH4S
Idiomapt
Arquivo AlvoUbirajara Oliveia de S.pdf
Grupo de Usuáriossimone
Visibilidadeshown
Permissão de Leituraallow from all
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Repositório Espelhourlib.net/www/2017/11.22.19.04.03
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ET2RFS
8JMKD3MGPDW34P/478H96R
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.50.38 1
DivulgaçãoBNDEPOSITOLEGAL
Acervo Hospedeirourlib.net/www/2017/11.22.19.04
6. Notas
NotasBolsa PIBIC/INPE/CNPq
Campos Vaziosarchivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder copyright creatorhistory date descriptionlevel doi e-mailaddress edition format isbn issn label lineage mark nextedition orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup recipient reportnumber resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey secondarymark secondarytype session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype translator url versiontype
7. Controle da descrição
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